CyberOptics aus Minneapolis (Minnesota, USA) zeigt auf der Semicon Europa 2022 sein neues WaferSense Auto Teaching System (ATS2), das ReticleSense Auto Teaching System (ATSR) und den Inline Particle Sensor. ATS2 und ATSR sind Multikamera Sensoren mit der CyberSpectrum Software zum Teaching der Wafer- und Maskenübergabe zum exakten Alignment der Fertigungstools.
Die Sensoren erfassen dreidimensionale Offset-Daten (x, y und z) in Echtzeit zum schnellen Abgleich der Wafer- und Maskenpositionen, ohne die Tools eigens zu öffnen. Das erlaubt wiederholgenaue und reproduzierbare Setups und Wartungs-Checks, und es eliminiert Variationen bei wechselnden Operatoren.
Außerdem zeigt CyberOptics in München den Inline Particle Sensor (IPS) zusammen mit der CyberSpectrum Software zur Detektion von Partikeln in Gas- und Vakuumleitungen bis herab zu 0,1 μm. Dieser Sensor ist besonders wichtig für EUVL-Tools zur Überwachung von Partikeln. Der Sensor ist eine Erweiterung der bekannten Airborne Particle Sensor (APS/APSRQ) Technologie, die in Fabs als Best-Known Method (BKM) gilt. Die WaferSense- und ReticleSense Sensoren werden weithin eingesetzt in Verfahrensschritten wie der Bestimmung von Leveling, Vibrationen, Gapping, relativer Feuchte, Widerstand und schwebenden Partikeln. Sie verbessern dies zur Verbesserung der Ausbeuten, der Fertigungsprozesse und der Tool Uptime.
